DEEP UV BELEUCHTUNGSSYSTEM
4.160,00 €
Bestehend aus Lampenhaus lh-qx-100.60 mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät ebqx 100-04 für 100 W HgXe-Lampen
Mit dem LEJ Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund des geringen thermischen Drifts und der sehr stabilen DC Stromversorgung durch das Vorschaltgerät. Weiterhin ermöglicht dieses System eine reproduzierbare mechanische Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit eignet sich das LEJ Deep-UV-System zur Waferinspektion oder für die Beleuchtung beim optischen Review und der Analyse von Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte.
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- kein thermischer Drift
- reproduzierbare mechanische Justierung
- Zündung im Lampenhaus integriert
- kompaktes Lampenhaus
- Sicherheitskreis-Funktion
- Betriebsstundenzähler
ANWENDUNGSBEREICHE: Waferinspektion, Analyse von Photomasken, Strukturprüfung, Analyse Linienbreite, Erkennung von Defekten