Deep UV illumination system

4,160.00 

Lamp house with integrated ignition and ballast for 100 W HgXe lamps

delivery time: 6-weeks

SKU: 13780/8708 Category: Tags: ,

Mit dem LEJ Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund des geringen thermischen Drifts und der sehr stabilen DC Stromversorgung durch das Vorschaltgerät. Weiterhin ermöglicht dieses System eine reproduzierbare mechanische Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit eignet sich das LEJ Deep-UV-System zur Waferinspektion oder für die Beleuchtung beim optischen Review und der Analyse von Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte.

    • kein thermischer Drift
    • reproduzierbare mechanische Justierung
    • Zündung im Lampenhaus integriert
    • kompaktes Lampenhaus
    • Sicherheitskreis-Funktion
    • Betriebsstundenzähler

ANWENDUNGSBEREICHE: Waferinspektion, Analyse von Photomasken, Strukturprüfung, Analyse Linienbreite, Erkennung von Defekten